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低溫真空等離子體表面處理儀可實(shí)現(xiàn)對(duì)材料整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗、活化、改性、蝕刻等，最大的特點(diǎn)是不論材料的形狀和類(lèi)型，如塑料、玻璃、陶瓷、金屬等都能進(jìn)行處理。利用等離子體處理技術(shù)可以改善材料的親水性、浸潤(rùn)性、黏結(jié)性、印染性等。

低溫等離子體表面處理儀中內(nèi)置兩個(gè)極板，可以形成內(nèi)置電場(chǎng)，利用真空泵將設(shè)備腔內(nèi)形成真空環(huán)境，隨著真空度的增加，氣體越來(lái)越稀薄，此時(shí)分子間距和分子自由運(yùn)動(dòng)的長(zhǎng)度會(huì)變大，由于受到電場(chǎng)的作用力，分子間發(fā)生碰撞并形成等離子體。

等離子體作用后材料表面主要發(fā)生4種物理化學(xué)變化：(1)產(chǎn)生自由基：放電空間活性粒子撞擊材料表面使表面分子間化學(xué)鍵被打開(kāi)從而產(chǎn)生大分子自由基，使材料表面具有反應(yīng)活性。(2)發(fā)生表面刻蝕：材料表面變粗糙，形成許多微細(xì)坑洼，增大工件的比表面積，表面形狀發(fā)生變化；(3)發(fā)生表面交聯(lián)：材料表面的自由基之間重新結(jié)合，形成一層致密的網(wǎng)狀交聯(lián)層；(4)引入極性基團(tuán)：表面的自由基與設(shè)備放電空間的反應(yīng)性活性粒子結(jié)合從而引入具有較強(qiáng)反應(yīng)活性的極性基團(tuán)。