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NE-PE25H是一款高配版低溫等離子體處理儀，設(shè)備采用MFC質(zhì)量流量計，可以實現(xiàn)對工藝氣體流量的精確控制，皮拉尼高精密電阻式真空計，具有高精度的測量能力，其精度可以達(dá)到0.1%以下，能夠滿足大多數(shù)高精度實驗或工業(yè)應(yīng)用的要求?。

低溫等離子體處理儀在材料加工方面應(yīng)用廣泛，利用等離子體中的高能粒子與材料表面發(fā)生物理和化學(xué)反應(yīng),可以實現(xiàn)對材料表面進(jìn)行激活、清洗、蝕刻、摻雜等工藝處理。通過等離子體處理可以顯著改善材料的表面性能,比如提高材料表面能、親水性、黏附性能等。

低溫等離子體處理是一種干式改性方法,其具有如下的優(yōu)勢:(1)作為干式處理方法,可省去濕式處理中的烘干、廢液以及廢氣的處理,節(jié)省能源,并對環(huán)境和人體無害;(2)通用性和適應(yīng)性強(qiáng),能夠?qū)π螤顝?fù)雜的材料表面進(jìn)行均勻處理;(3)操作簡單,處理時間短(幾秒到幾分鐘)且效果明顯;(4)改性效果僅發(fā)生在材料表面的薄層(幾個埃到微米級),改善材料表面性能的同時不會改變材料基體的性能。