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等離子清洗機清洗的效果主要與基礎(chǔ)壓力、放電功率、工藝氣體種類、工藝氣體流量、放電時間及工件材料等諸多因素有關(guān)，并與清洗工藝息息相關(guān)。

等離子清洗機工藝參數(shù)說明

等離子清洗機清洗效果好壞與其清洗工藝參數(shù)息息相關(guān)，清洗工藝參數(shù)的設(shè)定將直接作用在整個清洗工藝流程中，而其大小、長短等在清洗過程中所體現(xiàn)的作用是不同的，主要的工藝參數(shù)及其簡單含義說明如下：

（1）基礎(chǔ)壓力：真空抽到某一值并開始充入工藝氣體時的壓力值，其大小將影響動態(tài)平衡及放電清洗時工作腔內(nèi)的壓力大小。基礎(chǔ)壓力越大，工作腔內(nèi)壓力越大，容易導(dǎo)致匹配難或能量損失，反之亦然。基礎(chǔ)壓力設(shè)定一般在20pa～60pa之間。

（2）放電功率：功率越大，激發(fā)的等離子體能量越大。但是能量過大容易導(dǎo)致材料表面損傷，能量過小則清洗效果不明顯。

（3）工藝氣體種類：不同的工藝氣體種類所激發(fā)的等離子的性能是不同的，需要根據(jù)被清洗材料選擇不同的工藝氣體。

（4）工藝氣體流量：工藝氣體流量越大，激發(fā)的等離子濃度越大，但流量變大容易導(dǎo)致激發(fā)困難及離子能量變小。

（5）輝光放電時間：放電時間即等離子作用于材料表面時間，時間短清洗效果不理想，時間長則容易損傷材料表面。

綜上所述，不同的工藝參數(shù)設(shè)定直接影響等離子清洗機的清洗效果，應(yīng)根據(jù)清洗材料的材質(zhì)設(shè)定合適的工藝參數(shù)。