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在等離子清洗機(jī)在使用中,會(huì)遇到清洗達(dá)不到要求、設(shè)備本身故障率異常等問(wèn)題。如何保證等離子清洗機(jī)在生產(chǎn)中能夠達(dá)到工藝要求,同時(shí)保證設(shè)備的正常穩(wěn)定運(yùn)行,等離子清洗機(jī)的維護(hù)保養(yǎng)至關(guān)重要。以下介紹了等離子清洗機(jī)幾個(gè)關(guān)鍵部位如何進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)的方法。

等離子清洗腔體清潔

等離子清洗時(shí)產(chǎn)生的污物大部分都接近電子級(jí)別,會(huì)隨著真空泵排除。但也會(huì)有一些大顆粒污染物產(chǎn)生。這些大顆粒污物會(huì)附著在腔壁、電極和托板架上。腔壁上有一層薄薄的“灰”,腔底掉落更嚴(yán)重。

對(duì)于腔壁用不可掉落的毛刷清潔使顆粒粉塵異物在腔壁脫落,用吸塵機(jī)將污物吸出。用脫脂布沾酒精擦拭，（不要用乙醇擦拭反應(yīng)腔體觀察玻璃）。其次腔體導(dǎo)入N2和O2,用等離子體清洗腔體內(nèi)殘余物,工作10min。

定期檢查真空泵油

每月定期查看真空泵油位和油的純度，觀察油位視窗，油位接近最低紅線刻度時(shí)，則添加到油紅標(biāo)線上下之間位置；觀察油的顏色，正常的油為清潔透明，當(dāng)油出現(xiàn)渾濁（油顏色變灰褐色或者油位視窗模糊不清）、真空泵噪音異常，則及時(shí)更換真空油。

檢查輸氣管道的完整性及真空密封性

使用氣體質(zhì)量流量控制器對(duì)機(jī)臺(tái)氣體質(zhì)量流量控制器進(jìn)行測(cè)量,并參照檢測(cè)值校正機(jī)臺(tái)氣體質(zhì)量流量控制器。也可參照同腔體真空度檢查(參考測(cè)試),關(guān)閉總閥之后檢查顯示氣體管道通道壓力數(shù)值,如果發(fā)現(xiàn)數(shù)值有變化,用肥皂水噴在氣體管道接口處觀察,如有氣泡出現(xiàn),重新更換接頭恢復(fù)正常。

定期檢查反應(yīng)腔體門密封條是不是松動(dòng)，檢查各管路是否連接緊固，老化等問(wèn)題，如有問(wèn)題及時(shí)更換。

等離子清洗機(jī)定期保養(yǎng)計(jì)劃

等離子清洗機(jī)的三大條件是真空環(huán)境(真空機(jī)組,真空檢測(cè)儀,腔體的密閉)、高能量(射頻電源、工藝氣體)和介質(zhì)(腔體、電極)組成。那么等離子清洗機(jī)的保養(yǎng)應(yīng)從以上這些方面進(jìn)行,根據(jù)保養(yǎng)項(xiàng)目劃分周期分為每日、每周、每月、半年、每年、2~3年,見(jiàn)表1。

表1  等離子清洗機(jī)保養(yǎng)周期及內(nèi)容和方法

在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中,影響等離子清洗效果的不僅僅是工藝技術(shù),還有設(shè)備的穩(wěn)定性,比如工藝氣體的微小泄露、電極托板架的烴基殘留物、腔體內(nèi)其他管道的氧化程度以及設(shè)備本身不同程度的故障這些都是在清洗過(guò)程中直接對(duì)清洗效果產(chǎn)生影響。因此,做好等離子清洗機(jī)維護(hù)保養(yǎng)非常必要。