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等離子處理機(jī)可以用于各種基材表面清洗、活化、提高親水性，解決印刷粘接不牢固等問題，不論是塑料、金屬、玻璃、陶瓷都能得到很好的處理。

等離子處理機(jī)工作原理

等離子處理機(jī)的工作原理是通過將注入氣體激發(fā)成等離子體，等離子體由電子、離子、自由基、光子以及其他中性粒子組成。由于等離子體中的電子、離子和自由基等活性粒子存在，其本身容易與固體表面發(fā)生反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)清潔，活化，改性等目的。

等離子處理機(jī)系統(tǒng)組成

等離子處理機(jī)主要由真空系統(tǒng)、電源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、骨架等組成,其結(jié)構(gòu)示意圖見圖1.1。真空腔的腔體固定于機(jī)柜右上角,在其中進(jìn)行試樣集中處理。真空腔下方為真空管路系統(tǒng)和進(jìn)行高頻放電釋放等離子體的電源控制系統(tǒng),下側(cè)還有真空泵抽氣系統(tǒng),包括真空泵、放氣閥、電磁閥等。設(shè)備上半部分左側(cè)為電氣控制面板,包括控制按鈕、數(shù)顯真空計(jì)、觸摸屏操控界面等。

圖1.1 等離子處理機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖

通過對(duì)觸摸屏的點(diǎn)擊操作可控制等離子處理機(jī)系統(tǒng)的運(yùn)作,包括真空泵啟/停、充放氣電磁閥開/關(guān)、等離子發(fā)生器開/關(guān)、電源功率選擇、氣體選擇、等離子處理時(shí)間設(shè)定等。整個(gè)控制系統(tǒng)分為自動(dòng)和手動(dòng)兩種控制方式,可根據(jù)實(shí)際工作需要選擇自動(dòng)控制或手動(dòng)調(diào)試控制。

等離子體產(chǎn)生原理

等離子體產(chǎn)生實(shí)質(zhì)上是電離過程，當(dāng)氣體分子受熱分裂成原子狀態(tài)的過程稱為離解。若進(jìn)一步提高溫度，原子的外層電子會(huì)擺脫原子核的束縛成為自由電子。失去電子的原子變成帶電的離子，這個(gè)過程稱電離。發(fā)生電離(無論是部分電離還是完全電離)的氣體稱之為等離子體(或等離子態(tài))。而當(dāng)這些離子或電子在電場(chǎng)加速后，撞擊其他氣體分子，又會(huì)產(chǎn)生新的離子，即有足夠多的等離子體產(chǎn)生，完成處理過程。

傳統(tǒng)的腔體式等離子處理機(jī)采用射頻電容耦合方式產(chǎn)生等離子體(Capacitor Coupled Plasma，CCP)，并且采用平行內(nèi)電極式放置電極板。

基本放電原理如圖2.1所示：匹配箱和電容串聯(lián)，射頻電源的高頻功率通過電容耦合方式把功率施加給平行板上，極板一般分為接電極板（Power）和接地極板（Ground），內(nèi)部通過真空泵抽至低氣壓（5Pa～100Pa）。在低氣壓容性射頻放電中，電子從電場(chǎng)中獲得能量，具有一定能量的電子與中性氣體原子碰撞，使中性氣體原子失去最外層電子而產(chǎn)生電離。

圖2.2 電容耦合等離子體結(jié)構(gòu)示意圖

低溫等離子體技術(shù)處理不僅流程簡(jiǎn)捷、環(huán)保節(jié)能，而且加工對(duì)象廣、能夠顯著提高產(chǎn)品質(zhì)量。由于低溫等離子體的這種獨(dú)特優(yōu)越性，如今低溫等離子體技術(shù)在國(guó)防、醫(yī)療、微電子和環(huán)保等高新技術(shù)領(lǐng)域得到了重大發(fā)展并獲得了很高的經(jīng)濟(jì)效益。