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半導(dǎo)體封裝 在線(xiàn)四軌道真空等離子清洗機(jī)
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

在線(xiàn)四軌道等離子清洗機(jī)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝引線(xiàn)框架,LED封裝支架表面清洗,該設(shè)備主要由上下料系統(tǒng)、物料傳輸系統(tǒng)、等離子清洗系統(tǒng)、視覺(jué)監(jiān)控系統(tǒng)、托盤(pán)移動(dòng)機(jī)構(gòu)、傳送機(jī)構(gòu)、物料夾取機(jī)構(gòu)、推桿機(jī)構(gòu)、傳感器檢測(cè)系統(tǒng)、控制面板、操作臺(tái)面和設(shè)備框架等組成。系統(tǒng)采用全自動(dòng)運(yùn)行方式,可與上下游生產(chǎn)工序連線(xiàn),滿(mǎn)足器件封裝行業(yè)大規(guī)模生產(chǎn)要求,能徹底去除污物尺寸小于1μm的微殘留顆粒、氧化物和有機(jī)污染物,大幅度改善表面性質(zhì),提高后續(xù)工序中如焊接、封裝、粘結(jié)的可靠性,從而保證電子產(chǎn)品在惡劣環(huán)境狀況下的高精度和高可靠性。

該設(shè)備實(shí)現(xiàn)了引線(xiàn)框架自動(dòng)傳輸清洗,自動(dòng)將料盒里的引線(xiàn)框架取出并進(jìn)行等離子清洗,去除材料表面污染,提高表面活性,再自動(dòng)放回料盒,全程無(wú)人為干擾,軌道寬度可調(diào),可兼容不同規(guī)格尺寸的產(chǎn)品,獨(dú)立片式清洗大幅度提升清洗均勻性。

在線(xiàn)四軌道等離子清洗設(shè)備作為一種精密干法清洗設(shè)備,可以有效去除污染物,改善材料表面性能,且具有自動(dòng)化程度高,清洗效率高、設(shè)備潔凈度高、適應(yīng)范圍廣等優(yōu)勢(shì)。

產(chǎn)品參數(shù)

項(xiàng)目名稱(chēng)規(guī)格參數(shù)
整機(jī)尺寸L*W*H:2000mm* 1200mm* 1700mm
電源1PH220V、40A、50 Hz
壓縮空氣0.4-0.6MPa
環(huán)境需求溫度:15~25℃濕度:40~60%
制程氣體標(biāo)配Ar
射頻電源1KW,13.56MHz
真空泵干泵
控制系統(tǒng)PC+人機(jī)界面
可清洗產(chǎn)品規(guī)格產(chǎn)品長(zhǎng)度:120mm-270mm,產(chǎn)品寬度:40mm-83mm
軌道數(shù)量4(可增加)


應(yīng)用案例

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