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首頁 / 產(chǎn)品中心 / 低壓真空等離子設(shè)備 / 工業(yè)真空等離子清洗機(jī)（射頻） / 真空等離子體清洗機(jī)NE-PE160F

產(chǎn)品簡介

NE-PE160F真空等離子體清洗機(jī)是一款中大型表面處理設(shè)備，利用等離子體來清洗物質(zhì)表面，以達(dá)到清潔，活化、改性、刻蝕等目的。可以應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、COG前、LED制程、器件封裝前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。

NE-PE160F主要由控制單元、真空腔體和真空泵三個部分組成，通過數(shù)控技術(shù)，可以輕松對各種參數(shù)進(jìn)行調(diào)節(jié)，因?yàn)榍逑催^程在真空腔室中進(jìn)行，所以清洗后不用干燥，操作簡單，環(huán)境友好。

產(chǎn)品參數(shù)

型號	NE-PE160F
等離子頻率	13.56MHz 自動阻抗匹配
極限真空度	10Pa
真空泵	油泵/干泵（可選）
功率	0-1000W可調(diào)
腔體材質(zhì)	316不銹鋼/鋁合金（可選）
腔體尺寸	550(W)600(D)500(H)mm
腔體容積	165L
單層有效處理面積	W510mm x D510mm
氣路數(shù)量	2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮?dú)?，氫氣?/td>
極板間距	54mm（可調(diào)整）
處理層數(shù)	8層（可定制）
控制方式	PLC+觸摸屏
電源	AC380V,50/60Hz
外形尺寸	1170mm(L)×1190mm(W) ×1825 mm(H)