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首頁 / 產品中心 / 低壓真空等離子設備 / 小型實驗等離子清洗機（射頻） / 小型石英腔體等離子體清洗儀NE-Q05H

產品簡介

NE-Q05H小型等離子體清洗儀整套系統(tǒng)包括真空倉、射頻發(fā)生器、真空泵以及進排氣口。處理器為電容耦合外電極型，處理室為圓筒形石英玻璃。等離子體放電系統(tǒng)為200W高頻振蕩電源，電源頻率13.56MHz，為了保證電源有效地供給放電功率，在電源與放電電極間配有阻抗匹配器。此設備處理器采用外電極式，即放電能量從處理器外部施加，可以避免電極的腐蝕和反應物在極板沉積的問題。

等離子清洗技術利用了低溫等離子體特性使等離子體與材料表面進行接觸與反應, 使被處理材料表面得到化學、物理的清潔,提高表面的潤濕性,或者植入新的化學官能團以及表面蝕刻。

產品參數

型號	NE-Q05H
頻率	13. 56 MHz 固態(tài)射頻電源
功率	200W
腔體材質	石英耐熱玻璃
腔體容積	5L
腔體尺寸（圓形）	Φ150×280（D）mm
氣體流量控制器	MFC 質量流量控制器， 0-300sccm
氣路數量	2 路氣體，支持氧氣，氬氣等（如需接入腐蝕性氣體，提前告知）
真空測定系統(tǒng)	皮拉尼真空硅管
極限真空度	1Pa
控制方式	PLC+4.3寸觸摸屏
電源供應	220V
外形尺寸	548mm(L)×588mm(W) ×617 mm(H)